线锯切割失效机理的研究

• 作者: 靳永吉
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 多线切割机 拉断 疲劳断裂 磨粒 破碎
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 专题报道(IC制造技术)
• 页码范围: 24-27
• 页数: 4页
• 分类号: TN30
• 字数: 3419字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.11.006

摘要

通过对多线切割机切割工艺过程中失效机理的分析研究,提出了影响线锯切割失效的因素且分析了锯丝断线的主要原因和砂浆磨粒丧失切削力的过程,并提出了相应的预防改进措施.