KDP晶体加工工艺

• 作者: 张剑锋 王健 胡德智 陈锦琳
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: KDP晶体 加工工艺 高功率固体激光装置 表面粗糙度 激光损伤阈值 光学元件 面形误差 金刚石车削
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 163
• 页数: 1页
• 分类号: O734

摘要

高功率固体激光装置对KDP晶体光学元件的基本要求是大口径、高精度面形质量、高激光损伤阈值、良好的表面粗糙度。但是KDP晶体本身具有质软、易潮解、脆性高、对温度变化敏感、易开裂等一系列不利于光学加工的特点，传统的研磨抛光法不适于加工高精度的大口径KDP元件。国外加工此类元件已广泛采用先进的单点金刚石车削技术（简称SPDT）。采用SPDT技术加工KDP晶体元件，主要存在3个方面的加工误差，即晶体的面形误差、表面粗糙度（包括表面疵病）以及小尺度波纹等。