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摘要:
在晶圆背面涂覆中,用于晶圆背面涂覆的黏性粘合剂以浆料形式提供并干燥.与粘贴薄膜相比较其优点包括成本减少20%~30%,键合线厚度可控并可获得较高的生产效率.
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文献信息
篇名 固晶粘合剂在晶圆背面的涂覆
来源期刊 电子工业专用设备 学科 工学
关键词 晶圆背面涂覆 黏性粘合剂 丝网印刷
年,卷(期) 2006,(12) 所属期刊栏目 专题报道(先进封装技术)
研究方向 页码范围 39-41
页数 3页 分类号 TN4
字数 2487字 语种 中文
DOI 10.3969/j.issn.1004-4507.2006.12.008
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研究主题发展历程
节点文献
晶圆背面涂覆
黏性粘合剂
丝网印刷
研究起点
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
电子工业专用设备
双月刊
1004-4507
62-1077/TN
大16开
北京市朝阳区安贞里三区26号浙江大厦913室
1971
chi
出版文献量(篇)
3731
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