一种用于光纤F-P传感器的微纳米级微位移工作台的研究

• 作者: 刘国平 朱永 陈伟民 陈星 雷小华
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 标定 工作台 微位移 光纤F-P传感器
• 年，卷（期）: 2006,（6）
• 所属期刊栏目: 短文
• 页码范围: 653-656
• 页数: 4页
• 分类号: TM93
• 字数: 1567字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2006.06.023

摘要

标定光纤F-P传感器这种微纳米级位移传感器非常困难.分析常用的微位移技术优缺点,这里提出了一种基于弹性变形原理的工作台的设计方法.建立了工作台位移变形的数学模型,对其产生位移的误差进行了理论分析.在此基础上,实际设计并开发了实验系统,用德国heidenhaiyn光栅位移传感器对光纤F-P传感器进行了标定实验.大量的标定实验证明,该微位移工作台的不确定度为0.1μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱永	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	112	1521	21.0	34.0
2	陈伟民	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	311	4748	37.0	51.0
3	雷小华	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	42	197	8.0	12.0
4	刘国平	重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室	5	25	3.0	5.0
5	陈星		2	7	2.0	2.0