用于非制冷热释电红外探测器的PZT铁电薄膜研究

• 作者: 普朝光 李振豪 杨培志 林猷慎 王忠华
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷热释电红外探测器 PZT 籽晶层 快速分级退火
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1223-1229
• 页数: 7页
• 分类号: TN304|TB43
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2006.05.032

摘要

采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层,在衬底PZT(seed layer)/Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射过量10%Pb的Pb(ZrxTi1-x)O3(x=0.3)陶瓷靶生长厚500nm的PZT铁电薄膜.采用在450℃预退火,575℃后退火的快速分级退火方法对PZT铁电薄膜进行热处理.PZT铁电薄膜获得了较好的热释电性能,热释电系数、介电常数、介电损耗和探测度优值因子分别为p=2.3×10-8C·cm-2.K-1,ε=500,tanδ=0.02,Fd=0.94×10-5Pa-0.5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	普朝光		10	87	7.0	9.0
2	杨培志		21	189	8.0	13.0
3	林猷慎		2	17	2.0	2.0
4	李振豪		2	16	2.0	2.0
5	王忠华		2	16	2.0	2.0