高取向度PZT铁电薄膜的研制

• 作者: 曹伟 王西成 田杰 莫小洪
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 锆钛酸铅 溶胶-凝胶 铁电薄膜
• 年，卷（期）: 1999,（2）
• 所属期刊栏目: 研究与应用
• 页码范围: 16-18
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.1999.02.005

摘要

用无机盐替代锆的醇盐,通过Sol-Gel方法,合成均匀、稳定的PZT溶胶.采用Pt/Ti/SiO2/Si基片并加入PT过渡层,经快速热处理,制备出沿(100)高度定向的PZT陶瓷薄膜,此薄膜具有良好的铁电性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王西成	武汉工业大学研究生部	2	110	2.0	2.0
2	莫小洪	武汉工业大学研究生部	2	110	2.0	2.0
3	田杰	武汉工业大学研究生部	2	110	2.0	2.0
4	曹伟	武汉工业大学研究生部	1	19	1.0	1.0