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摘要:
1 电子学 1.1 电子学与无线电电子学系统 利用MEMS技术研制一种静电伺服型“叉指”结构微加速度表,量程为一70~70g,应用于重大飞行试验获得了完整数据。利用MEMS技术还研制一种高g值微脉冲开关,大大缩小了开关体积,提高了开关在高冲击环境下的生存能力,开关动作门限3000g,响应时间84μs,能承受100000g冲击。
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文献信息
篇名 电子学与光电子学——电子学与光电子学学科研究进展
来源期刊 中国工程物理研究院科技年报 学科 工学
关键词 光电子学 MEMS技术 脉冲开关 科研 电子学系统 高冲击环境 加速度表 静电伺服
年,卷(期) 2006,(1) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 207
页数 1页 分类号 TN201
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静电伺服
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中国工程物理研究院科技年报
年刊
四川省绵阳市919信箱805分箱
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2158
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