基于EOPN的晶圆制造系统实时调度仿真平台

• 作者: 刘惠然 张怀 江志斌 郭乘涛
• 来源期刊: 上海交通大学学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体晶圆制造系统 仿真 实时调度 拓展型面向对象Petri网
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术
• 页码范围: 1857-1863
• 页数: 7页
• 分类号: TP391.9
• 字数: 4874字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1006-2467.2006.11.010

摘要

针对半导体晶圆制造系统(SWFS)的组织构成、加工过程和生产模式的典型特点,以拓展型面向对象Petri网(EOPN)为工具对该复杂系统建立了模型,在准确描述晶圆制造过程的基础上采用面向对象技术设计并开发了一套SWFS实时调度仿真平台.该平台不仅能够真实再现半导体晶圆的反复重入型加工过程,而且能够集成多种实时调度与派工控制算法,以准确高效的仿真计算进行算法测试和相应系统绩效的评价与预测.SWFS实时调度仿真平台的开发成功对SWFS的建模、调度和控制等相关研究起到积极的支持作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	江志斌	上海交通大学机械与动力工程学院	161	2126	22.0	39.0
2	张怀	上海交通大学机械与动力工程学院	7	64	4.0	7.0
3	刘惠然	上海交通大学机械与动力工程学院	2	16	2.0	2.0
4	郭乘涛	上海交通大学机械与动力工程学院	6	43	3.0	6.0