Y型带反射器的声表面波质量传感器

• 作者: 朱大中 杨莺
• 来源期刊: 浙江大学学报（工学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 声表面波传感器 质量沉积效应 倾斜反射器
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 自动化技术、计算机技术及电信技术
• 页码范围: 207-210
• 页数: 4页
• 分类号: TP212|TN65
• 字数: 2643字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1008-973X.2006.02.006

摘要

为了有效避免体波和边缘多次回波寄生效应,提出了一种Y型带倾斜反射器的双声路质量传感器.在输出叉指换能器(IDT)和芯片边缘之间加入反射器,有效抑制了由于芯片端面声阻抗不连续造成的声表面波端面反射,并提高了器件的灵敏度.在128°Y-X方向LiNbO3衬底上制作了质量传感器,通过非振荡匹配电路和网络分析仪测试了器件的性能.数据处理采用时频傅立叶变换,加门函数消除附加信号.测试结果表明,反射器对边缘多次反射信号的抑制为2～6 dB.器件温度补偿效果显著,质量沉积效应灵敏度可达5.61 GHz·cm2/g,线性度良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱大中	浙江大学信息与电子工程学系	43	188	8.0	11.0
2	杨莺	浙江大学信息与电子工程学系	3	6	1.0	2.0