微米尺度线电极的电化学腐蚀法制备

• 作者: 朱荻 王昆 王明环
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电化学腐蚀 微米尺度 线电极 微细电化学线切割加工
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 页码范围: 1073-1075,1129
• 页数: 4页
• 分类号: TN16|TG662
• 字数: 2951字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2006.09.019

摘要

微细电化学线切割加工是最近出现的一种微细加工新方法.本文基于电化学腐蚀原理,制备微细电化学线切割加工中使用的微米尺度线电极.建立了腐蚀过程理论模型,通过测量线电极的电阻变化来实时监测线电极腐蚀过程中的直径大小,并基于虚拟仪器技术建立了线电极制备监控系统.通过试验对钨线电极的腐蚀过程进行分析,得出监控系统的直径计算值与实际值误差低于10%.最后,利用此方法制备出直径5 μm的钨线电极.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	王明环	南京航空航天大学机电学院	15	519	11.0	15.0
3	王昆	南京航空航天大学机电学院	13	121	5.0	11.0