电化学腐蚀法制备微细群圆柱

• 作者: 曲宁松 朱荻 王明环 王磊
• 来源期刊: 机械科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微细加工 电化学腐蚀 有限元分析 微细群圆柱 阴极形状设计
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 页码范围: 856-861
• 页数: 6页
• 分类号: TG661
• 字数: 3595字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1003-8728.2007.07.008

摘要

提出了微细群圆柱结构电化学腐蚀加工法及其形状和尺寸控制方式.根据电化学腐蚀基本原理,通过有限元分析计算群圆柱电化学腐蚀加工过程中的电场分布,优化设计阴极形状.开展了电化学腐蚀法制备微细群圆柱结构的工艺试验,获得了良好的试验结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学机电学院	237	3580	30.0	43.0
2	曲宁松	南京航空航天大学机电学院	95	905	19.0	24.0
3	王磊	南京航空航天大学机电学院	66	454	14.0	17.0
4	王明环	南京航空航天大学机电学院	15	519	11.0	15.0