电容式微加速度传感器信号处理电路的设计

• 作者: 刘海涛 温中泉 温志渝
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式 微加速度传感器 信号处理 电荷敏感 闭环模式
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2190-2192,2196
• 页数: 4页
• 分类号: TP2
• 字数: 2055字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.232

摘要

介绍了一种新型的电容式微加速度传感器的信号处理电路,可以用来检测电容式微加速度传感器敏感的加速度.该电路采用电荷敏感原理,能较好地消除寄生电容的影响.同时电路工作于闭环模式,具有稳定的工作特性.实验结果表明该电路不仅能很好的消除外部环境噪声的干扰,同时提高了传感器的整体性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	温志渝	重庆大学光电工程学院微系统中心	143	1259	18.0	26.0
2	温中泉	重庆大学光电工程学院微系统中心	26	365	12.0	18.0
3	刘海涛	重庆大学光电工程学院微系统中心	15	64	5.0	7.0