MEMS磁场传感器的研究进展

• 作者: 秦明 陈洁 黄庆安
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: 磁场传感器 MEMS 洛仑兹力 谐振
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 1384-1388
• 页数: 5页
• 分类号: TN43
• 字数: 3184字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2006.04.099

摘要

磁场检测在工农业生产和人们日常生活中非常普遍.随着微电子机械(MEMS)的发展,用MEMS技术研制磁场传感器正获得越来越多的研究.基于MEMS磁场传感器的原理,对各类磁场传感器做了简要介绍,评述了各种MEMS磁场传感器的加工工艺及工作原理,并对MEMS磁场传感器的发展进行了展望.