基于Petri网的分层半导体制造过程调度结构

• 作者: 乔非 李莉 陈康民 黄丹
• 来源期刊: 同济大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 调度结构 Petri网 分层的
• 年，卷（期）: 2006,（11）
• 所属期刊栏目: 计算机与信息工程
• 页码范围: 1551-1555
• 页数: 5页
• 分类号: TP305
• 字数: 3240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-374X.2006.11.027

摘要

针对复杂的半导体制造过程调度,在综述现有调度问题及方法的基础上,提出由投料调度、路径调度和两种类型的工件调度共同组成的分层调度结构的思想及方案,继而基于Petri网模型,探讨所提出的分层半导体调度结构基于Petri网模型的实现方法,最后通过仿真对分层调度结构加以应用验证,并总结全文.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈康民		2	24	2.0	2.0