半导体制造系统基于资源的Petri网调度优化

• 作者: 刘仲英 邵志芳
• 来源期刊: 同济大学学报（自然科学版）
• 学科: 地球科学
• 关键词: 半导体制造 建模 Petri网 整合性定义方法论 调度
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 电子电气与控制工程
• 页码范围: 674-679
• 页数: 6页
• 分类号: N945|TP391
• 字数: 4828字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-374X.2008.05.021

摘要

对半导体制造系统调度难点,分两步予以解决:第一步,提出三种策略解决系统建模问题,包括基于资源的Petri网模型构建模式,对系统结构建模;引入整合性定义方法对系统功能建模;以及通过多种变迁种类的引入实现对系统行为建模.第二步,在此模型基础上,引入蚁群优化算法对模型求调度优化解.与仿真结果的对比显示此方案取得了明显效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘仲英	同济大学经济与管理学院	144	3170	28.0	50.0
2	邵志芳	同济大学经济与管理学院	6	53	6.0	6.0