原子力显微轮廓仪系统的研究

• 作者: 张冬仙 林晓峰 章海军 赵君臣
• 来源期刊: 光电子·激光
• 学科: 工学
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 步进电机 轮廓仪 纳米
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 光电子器件和系统
• 页码范围: 841-844
• 页数: 4页
• 分类号: TH742
• 字数: 2736字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1005-0086.2006.07.017

摘要

研制了原子力显微镜(AFM)轮廓仪,介绍了AFM轮廓仪的基本原理和系统设计,并展示了多孔Al2O3薄膜、MgAl2O4薄膜和TiN薄膜的表面轮廓图.跟普通光学轮廓仪相比,该系统不需要进行复杂的光路调整,避免了光学元器件带来的误差,且工作行程不受光学孔径的制约,具有操作简单、抗干扰能力强和工作行程大的优点.实验表明,该系统具有良好的重复性、稳定性,横向分辨率为1 μm,纵向分辨率为1 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张冬仙	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	39	321	10.0	16.0
2	章海军	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	53	454	12.0	18.0
3	林晓峰	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	6	106	5.0	6.0
4	赵君臣	浙江大学现代光学仪器国家重点实验室	2	16	1.0	2.0