约束刻蚀剂层技术对金属铝的微结构加工研究

• 作者: 田中群 田昭武 蒋利民 黄选民
• 来源期刊: 高等学校化学学报
• 学科: 化学
• 关键词: 约束刻蚀剂层技术 微机电系统 铝 微加工 电化学
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 页码范围: 1540-1544
• 页数: 5页
• 分类号: O646
• 字数: 3597字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0251-0790.2006.08.028

摘要

采用约束刻蚀剂层技术,以亚硝酸钠为先驱物,通过电化学氧化产生刻蚀剂(硝酸)刻蚀铝,并以NaOH为捕捉剂,在电极模板上形成约束刻蚀剂层.在金属铝表面加工出梯型槽微结构,加工分辨率约为500 nm.通过测量表面氢离子浓度,对捕捉剂的约束效果进行了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田中群	厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室	103	779	14.0	23.0
2	蒋利民	厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室	11	50	5.0	7.0
4	田昭武	厦门大学化学化工学院固体表面物理化学国家重点实验室	11	95	4.0	9.0
7	黄选民	南昌航空工业学院材料系	1	20	1.0	1.0