基于半导体和金属相变的热光效应光调制器

• 作者: 张天序 易新建 李毅
• 来源期刊: 华中科技大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 光调制器 微光电机系统 二氧化钒薄膜 相变 热光效应
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 页码范围: 11-14
• 页数: 4页
• 分类号: TB43|TN213
• 字数: 3319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1671-4512.2006.04.004

摘要

基于二氧化钒薄膜在约68 ℃半导体和金属间的可逆相变,通过控制温度来实现高透过率到高反射率的转换,实现对光的调制作用.通过表面微机械低热质单元来实现隔热,保证各单元在无串扰的情况下具有独立的开关功能.在工作过程中,单元的温度通过单元上的集成电阻或空间寻址热辐射源来控制.采用微机械工艺成功制备出32×32二氧化钒热光效应光调制器阵列,该热光效应调制器由于没有可移动的部件,其最大的优点就是高可靠性和低制造成本.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李毅	华中科技大学控制科学与工程系	46	503	12.0	21.0
10	易新建	华中科技大学光电子科学与工程学院	102	1261	21.0	29.0
11	张天序	华中科技大学控制科学与工程系	184	3360	30.0	49.0