IC缺陷轮廓分形维估计的小波方法

• 作者: 孙晓丽 宋国乡 郝跃
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: IC缺陷轮廓 小波变换 分形维
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 科研通信
• 页码范围: 1485-1487
• 页数: 3页
• 分类号: TN406
• 字数: 2626字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2006.08.025

摘要

为了有效的进行集成电路成品率预报和故障分析,与光刻有关的硅片表面缺陷通常被假定为圆形、椭圆或方形.然而,真实缺陷的形貌是多种多样的,它们的形状对集成电路的成品率估计有重要影响.本文讨论了缺陷轮廓所具有的分形特征,并用小波变换的方法对其分形维数进行了估计,估计结果与实例的特征相符,从而为缺陷轮廓的表征和计算机模拟提供了新的特征参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝跃	西安电子科技大学微电子学院	312	1866	17.0	25.0
2	宋国乡	西安电子科技大学理学院	160	2031	21.0	40.0
3	孙晓丽	西安电子科技大学理学院	11	155	7.0	11.0