激光干涉测量中的误差分析与补偿

• 作者: 刘君 周云飞 孙业业 穆海华
• 来源期刊: 机床与液压
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉测量 误差分析 误差补偿
• 年，卷（期）: 2006,（9）
• 所属期刊栏目: 自动控制与检测
• 页码范围: 181-184
• 页数: 4页
• 分类号: TH741
• 字数: 3928字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3881.2006.09.064

摘要

介绍了双频激光干涉仪的测量原理,从安装和测量等方面深入分析了激光干涉测量所固有的系统误差、阿贝误差及余弦误差、环境误差及延时误差,讨论了各种误差对测量结果的影响,并给出了相应的误差补偿方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周云飞		140	2386	28.0	40.0
2	穆海华		17	302	11.0	17.0
3	刘君		3	73	2.0	3.0
4	孙业业		2	55	2.0	2.0