激光外差干涉的非线性误差补偿

• 作者: 丁雪梅 钟志 陈洪芳
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 激光外差干涉术 非线性误差 一次谐波 误差补偿
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 现代应用光学
• 页码范围: 1043-1047
• 分类号: TN247|TH744.3
• 字数: 2237字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101805.1043

摘要

为了补偿用激光外差干涉法进行纳米测量产生的非线性误差,进行了非线性误差补偿的实验研究.根据镀膜实体角锥棱镜反射光的偏振特性,推导出当激光器出射光束存在偏振椭圆化时,测量角锥棱镜以运动方向为轴线的轴向旋转对非线性误差一次谐波的影响模型.分析表明,测量角锥棱镜以其运动方向为轴线的轴向旋转会减小非线性误差一次谐波.实验显示,当测量角锥棱镜轴向旋转角从0°增加到100°时,非线性误差从3.48 nm减小到1.39 nm,实现了非线性误差一次谐波减小为原来的40%.该方法避免了现有的非线性误差补偿方法光路系统和电路系统复杂的缺点,系统实现很简单.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁雪梅	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	40	674	14.0	25.0
2	钟志	哈尔滨工程大学信息与通信工程学院	28	256	9.0	15.0
3	陈洪芳	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	30	144	8.0	11.0