透射式外差椭偏测量及非线性误差分析

• 作者: 吴玉斌 姚建铨 孙秀泉 邓元龙 阮双琛
• 来源期刊: 测试技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 椭偏测量术 外差干涉 非线性误差 薄膜测量 声光调制器
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 测试技术及理论研究
• 页码范围: 245-248
• 页数: 4页
• 分类号: TH744.3
• 字数: 1941字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-7449.2005.03.002

摘要

结合激光外差干涉法和透射式椭偏测量原理,研究了一种快速、高精度测量纳米厚度薄膜光学参数的方法.给出了光学系统设计和理论分析,使用两个声光调制器产生20 kHz的差频,直接比较平行分量和垂直分量外差信号的幅值和相位,得到所需要的椭偏参数.光束偏振态的椭圆化及偏振分光不完全所引起的非线性误差是影响纳米薄膜测量精度的主要因素,推导出椭偏参数非线性误差的近似解析表达式,计算结果表明由此导致的膜厚测量误差可达几个nm,相对而言,激光器和反射镜等器件产生的光束椭偏化是其主要原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚建铨	天津大学精密仪器与光电子工程学院	255	2242	25.0	37.0
2	阮双琛	深圳大学工程技术学院	144	1167	20.0	25.0
3	邓元龙	天津大学精密仪器与光电子工程学院	27	142	8.0	11.0
5	吴玉斌	深圳大学工程技术学院	20	114	6.0	10.0
8	孙秀泉	深圳大学工程技术学院	19	98	6.0	9.0