微型电容式压力传感器中的温度效应

• 作者: 冯勇建 黄哲琳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 传感器 电容式 温度测试 MEMS
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 微型压力传感器
• 页码范围: 1807-1809
• 页数: 3页
• 分类号: TP2
• 字数: 2140字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.132

摘要

主要介绍了利用硅-硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应,给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试,并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正,否则影响传感器的的线性工作范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯勇建	厦门大学机电工程系	103	953	15.0	26.0
2	黄哲琳	厦门大学电子工程系	1	4	1.0	1.0