AFM对TiN薄膜和聚酰亚胺微观结构的分析

• 作者: 彭光含 杨学恒 白海会
• 来源期刊: 重庆大学学报（自然科学版）
• 学科: 其他
• 关键词: 原子力显微镜 TiN薄膜 聚酰亚胺 微观结构
• 年，卷（期）: 2006,（8）
• 所属期刊栏目: 数学·物理
• 页码范围: 138-140,145
• 页数: 4页
• 分类号: O059
• 字数: 2462字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-582X.2006.08.035

摘要

论述了一种高精度的原子力显微镜AFM.IPC-208B型机在分子形态学方面的应用,以磁控溅射获得的TiN薄膜和普通的聚酰亚胺纤维为例,从原子力显微镜测得的三维图上探析该TiN薄膜的优先生长面及其在优先生长面上的原子排布和聚酰亚胺的表面形态.这种实验不仅鉴定了测试材料的微观形态,也充分肯定了该原子力显微镜原子量级的精度及其在微观结构领域的潜在发展,为该机应用于微加工领域奠定了基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨学恒	重庆大学数理学院	39	294	9.0	15.0
2	彭光含	湖南文理学院物电系	49	241	8.0	12.0
3	白海会	重庆大学数理学院	3	44	2.0	3.0