复合量程微加速度计中阻尼的分析与设计

• 作者: 张文栋 徐栋 毛海央 熊继军 郭涛
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 复合量程微加速度计 压阻式 二阶系统阻尼
• 年，卷（期）: 2006,（5）
• 所属期刊栏目: 惯性微纳器件与技术
• 页码范围: 2186-2189
• 页数: 4页
• 分类号: TH82
• 字数: 2384字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.05.231

摘要

为了避免微加速度计在工作过程中因为共振导致结构损坏,需要在结构中合理设计阻尼.设计了一个复合量程压阻式微加速度计,为了使结构中各个传感器具有较好的阻尼参数,通过静电键合在硅结构层下制作一玻璃层.根据Reynolds方程,可知当硅-玻璃静电键合间距d=2.25μm时,复合量程微加速度计中各个传感器可得到较好的阻尼比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张文栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	167	1172	16.0	26.0
2	熊继军	中北大学电子测试技术国家重点实验室	111	702	13.0	19.0
3	郭涛	中北大学电子测试技术国家重点实验室	86	454	11.0	15.0
4	毛海央	中北大学电子测试技术国家重点实验室	6	78	4.0	6.0
5	徐栋	中北大学电子测试技术国家重点实验室	3	33	3.0	3.0