长脉冲激光作用下薄膜表面鼓包的形成机理

• 作者: 吴师岗 夏志林 范正修 邵建达
• 来源期刊: 强激光与粒子束
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 损伤 激光 鼓包 杂质
• 年，卷（期）: 2006,（4）
• 所属期刊栏目: ICF与激光等离子体
• 页码范围: 575-579
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3395字
• 语种: 中文

摘要

在光学薄膜的激光损伤实验中,可以在显微镜下观测到激光辐照引起的尺寸较大、形状对称性很好的鼓包.从杂质气化的角度,应用弹性力学的球壳受压膨胀模型,分析薄膜表面鼓包的形成机制,同时得到了相应情况下薄膜的损伤机制.结果表明,半径越大杂质在激光辐照下越容易引起薄膜破坏,填埋得越浅的杂质也越容易引起薄膜破坏.杂质诱导破坏机制下,薄膜的裂纹首先出现在杂质附近的薄膜基体中.在薄膜中出现裂纹的临界状态时,半径越大、填埋得越深的杂质所引起的鼓包尺寸越大、高度越高.这种热力耦合模型,弥补了现有理论的不足,进一步完善了现有理论.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邵建达	中国科学院上海光学精密机械研究所	212	2131	21.0	29.0
2	范正修	中国科学院上海光学精密机械研究所	203	2312	23.0	32.0