铀表面N等离子体增强沉积Ti薄膜的湿热腐蚀行为

• 作者: 严东旭 刘天伟 梁宏伟 白彬 肖红
• 来源期刊: 中国工程物理研究院科技年报
• 学科: 物理学
• 关键词: 等离子体浸没离子注入 表面改性技术 腐蚀行为 增强沉积 湿热环境 镀TI 薄膜 磁控溅射离子镀
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 492-493
• 页数: 2页
• 分类号: O484.1

摘要

非平衡磁控溅射离子镀和等离子体浸没离子注入及沉积技术在表面改性技术中受到广泛重视。文中利用N等离子体浸没离子注入技术原位增强铀表面离子镀Ti薄膜（磁控溅射沉积5min），制备了含Ti的TiNx薄膜，以降低TiN镀层的脆性，探讨了该薄膜和膜-基界面在96℃、相对湿度96％的大气湿热环境下的腐蚀行为。50keV的N等离子体增强沉积的Ti膜组织致密，形成了部分TiM，在膜-基界面产生了Ti，N，U共混区。