退火对牺牲层腐蚀前端形状和腐蚀速率的影响

• 作者: 吴昌聚 王跃林 郁发新 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 仪器仪表学报
• 学科: 工学
• 关键词: 退火 牺牲层 腐蚀形状 腐蚀速率
• 年，卷（期）: 2006,（7）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 765-768
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 2623字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0254-3087.2006.07.023

摘要

从片子的生长工艺出发对腐蚀前端的形状进行了研究.提出了应力是产生腐蚀前端三角形的主要原因的推测,并通过退火实验验证了这一推测.在对退火处理影响腐蚀速率机制研究的基础上,得出了不同退火条件对腐蚀速率的影响规律.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	吴昌聚	浙江大学信息与电子工程系	18	111	6.0	10.0
3	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
4	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0
5	郁发新	浙江大学信息与电子工程系	44	270	7.0	15.0