组合结构的牺牲层释放腐蚀修正模型

• 作者: 林守锋 王跃林 郁发新 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 牺牲层 释放腐蚀 模型 腐蚀前端
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 页码范围: 81-86
• 页数: 6页
• 分类号: TN405
• 字数: 3708字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2006.01.020

摘要

Eaton等人曾给出了HF溶液腐蚀SiO2牺牲层的释放腐蚀模型,然而实验中发现该模型并不能较好地符合实验数据.经分析发现该模型中扩散系数和反应速率常数不能如实反映温度的变化,而且实验中观察到腐蚀前端形状并不总是平面.通过对模型中这些因素的修正,建立起修正模型,证实修正模型比Eaton给出的模型更符合实验结果

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息科学与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	马慧莲	浙江大学信息科学与电子工程系	57	569	13.0	21.0
3	王跃林	浙江大学信息科学与电子工程系	39	434	11.0	19.0
4	郁发新	浙江大学信息科学与电子工程系	44	270	7.0	15.0
5	林守锋	浙江大学信息科学与电子工程系	1	4	1.0	1.0