牺牲层腐蚀改进模型与模拟研究

• 作者: 彭奇 李伟华
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 牺牲层腐蚀 扩散系数 扩散方程 差分算法
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 207-210
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 2750字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.004

摘要

牺牲层腐蚀主要受腐蚀液的扩散过程制约,由扩散方程决定.扩散系数在腐蚀过程中随温度和腐蚀液浓度变化而改变.文中对改进的腐蚀模型给出有限差分算法,由每一时刻溶液在具体位置的浓度值得出扩散系数,再由Topography模型计算前端面的腐蚀情况得到腐蚀前端行进的轮廓线.并编程对一些MEMS结构的释放过程进行仿真,最后给出实验验证.