Bubble结构牺牲层腐蚀的一种改进模型

• 作者: 吴昌聚 王跃林 金仲和 马慧莲
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS 牺牲层腐蚀 腐蚀速率常数 扩散系数
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 183-187
• 页数: 5页
• 分类号: TN304.12
• 字数: 3037字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2006.01.036

摘要

以往的牺牲层腐蚀模型把扩散系数看作是常数,然而,实验结果和以往模型的计算结果在腐蚀开始一段较短的时间内吻合较好,但随着腐蚀时间的变长两者的差异越来越明显.为了解释这一现象并使模型能够较好地预测腐蚀过程,提出了腐蚀模型应该考虑氢氟酸扩散系数是浓度的函数,并在此基础上得到了改进模型.在改进模型中,浓度的下降会引起扩散系数的增大,这部分补偿了腐蚀前端浓度的下降.另外在改进模型中,扩散系数还是温度的函数.实验表明,改进模型与实验结果吻合地较好.这些结果不仅为对牺牲层腐蚀机理的理解提供新的证据,而且也为溶液在bubble结构里面的扩散提供新的证据.文中所观察到的这些现象也适合于其他类型的牺牲层腐蚀,条件是其腐蚀过程是受扩散限制的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	金仲和	浙江大学信息与电子工程系	144	1047	18.0	25.0
2	吴昌聚	浙江大学信息与电子工程系	18	111	6.0	10.0
3	马慧莲	浙江大学信息与电子工程系	57	569	13.0	21.0
4	王跃林	浙江大学信息与电子工程系	39	434	11.0	19.0