硅基微机械表面粘附及摩擦性能的AFM试验研究

• 作者: 丁建宁 付永忠 范真 解国新
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 原子力显微镜(AFM) 微/纳机电器件(MEMS/NEMS) 粘附 摩擦磨损
• 年，卷（期）: 2006,（2）
• 所属期刊栏目: 科学基金
• 页码范围: 200-203
• 页数: 4页
• 分类号: TG174|TH117
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.02.023

摘要

在Si(100)基片上制备了十八烷基三氯硅烷(OTS)分子润滑膜,并用原子力显微镜(AFM)对比研究了施加OTS膜前后的硅表面的粘附、摩擦磨损性能.试验考虑了相对湿度和扫描速度对粘附、摩擦性能的影响.结果表明,相对于硅构件来讲,OTS膜表面粘附力较小,具有较小的摩擦因数,呈现较好的润滑性能;硅构件受湿度变化的影响比OTS膜明显.微构件的摩擦性能由于水合化学作用生成Si(OH)4润滑膜,使得其受相互间运动速度影响很大.OTS膜不仅是一种耐磨性较好的润滑膜,而且有良好的稳定性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁		146	769	14.0	19.0
2	范真		61	532	11.0	20.0
3	付永忠		20	79	6.0	7.0
4	解国新		12	37	4.0	5.0