基于AFM的微机械表面抗粘附薄膜性能

• 作者: 丁建宁 付永忠 杨继昌
• 来源期刊: 农业机械学报
• 学科: 交通运输
• 关键词: OTS薄膜 粘附 微机电系统 原子力显微镜
• 年，卷（期）: 2006,（12）
• 所属期刊栏目: 先进制造技术及基础理论
• 页码范围: 182-184,154
• 页数: 4页
• 分类号: U4
• 字数: 2931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-1298.2006.12.043

摘要

用原子力显微镜(AFM)考察施加OTS分子润滑膜前后Si(100)表面的粘附、摩擦性能,并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果.结果表明,施加OTS膜后可以有效降低Si(100)表面粘附力和摩擦系数,呈现较好的润滑性能,且受空气相对湿度变化的影响较小.另外,适当提高扫描探针扫描速度,可以改善Si(100)表面和OTS膜表面摩擦性能,降低摩擦力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁建宁	江苏大学微纳米技术研究中心	146	769	14.0	19.0
2	杨继昌	江苏大学微纳米技术研究中心	108	1546	22.0	34.0
3	付永忠	江苏大学微纳米技术研究中心	20	79	6.0	7.0