多晶硅微机械抗粘附结构参数设计

• 作者: 丁建宁 李长生 温诗铸 范真
• 来源期刊: 中国机械工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微型机械 表面张力 Casimir力 稳定性 粘附
• 年，卷（期）: 2003,（4）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 274-277
• 页数: 4页
• 分类号: TH117
• 字数: 3018字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2003.04.002

摘要

讨论了在大气环境或有液体的环境下,表面张力对微加工悬臂梁结构粘附的影响,以及真空条件下Casimir量子力对微机械薄膜微腔结构的稳定性和粘附的影响.建立了Casimir量子力作用下粘附问题的实际粗糙模型理论.对不同表面力作用下的抗粘附结构研究结果表明,微悬臂梁和薄膜微腔结构的稳定性和粘附与材料的弹性特性、材料的表面特性、结构的长度、厚度以及构件与基体之间的间隙有关,而与结构的宽度无关.给出了抗粘附结构参数设计的对数坐标图.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李长生	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	127	626	12.0	18.0
2	温诗铸		156	3364	28.0	50.0
3	丁建宁		146	769	14.0	19.0
4	范真	江苏大学微米纳米科学技术研究中心	61	532	11.0	20.0