MEMS微型柔性力-位移传动机构设计

• 作者: 蒋庄德 赵玉龙 高建忠
• 来源期刊: 中国机械工程
• 关键词: 微机电系统 柔性机构 微杠杆 深刻蚀
• 年，卷（期）: 2006,（10）
• 所属期刊栏目: 机械科学
• 页码范围: 991-994
• 页数: 4页
• 分类号: TN305|TP242
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-132X.2006.10.001

摘要

为了提高微机电系统中微执行器的作用距离,设计了一种全硅结构的微型柔性力-位移传动机构,用于放大微执行器的输出位移.建立了传动机构的简化力学模型和有限元模型,并对机构性能的影响因素进行了分析.用深层反应离子刻蚀工艺在硅隔离衬底上成功制备了电热微执行器-微型柔性传动机构样机,并进行测试.结果表明,柔性力-位移传动机构能够有效地放大微执行器的输出位移,实测放大倍数达到18.9,可以极大地扩展微机电系统微执行器的应用范围.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋庄德	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	165	1512	18.0	28.0
2	高建忠	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	8	39	3.0	6.0
3	赵玉龙	西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室	81	540	14.0	19.0