纳米隧道结的制备和特性研究

• 作者: 刘庆纲 匡登峰 胡小唐 胡留长 郭维廉
• 来源期刊: 物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 原子力显微镜阳极氧化 钛氧化线 隧道结 库仑阻塞效应
• 年，卷（期）: 2006,（1）
• 所属期刊栏目: 总论
• 页码范围: 80-83
• 页数: 4页
• 分类号: O4
• 字数: 2024字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-3290.2006.01.015

摘要

结合对向靶直流磁控溅射技术、微电子光刻方法和原子力显微镜阳极氧化加工方法制备了实用的纳米钛-钛氧化线-钛隧道结,钛膜的厚度为3.02nm.钛氧化线的宽度为60.5nm,在室温下此隧道结的I-V曲线表现出明显的库仑阻塞效应.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭维廉	天津大学电子信息工程学院	145	419	10.0	12.0
2	匡登峰	南开大学现代光学研究所	7	14	3.0	3.0
3	刘庆纲	精密测试计量技术及仪器国家重点实验室天津大学精密仪器与光电子工程学院	4	10	1.0	3.0
4	胡小唐	精密测试计量技术及仪器国家重点实验室天津大学精密仪器与光电子工程学院	4	1	1.0	1.0
5	胡留长	天津大学电子信息工程学院	5	0	0.0	0.0