线性渐变滤光片镀制挡板设计

• 作者: 秦洁玉 罗崇泰 马勉军
• 来源期刊: 真空与低温
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜厚度 修正挡板 设计
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 知识与进展
• 页码范围: 57-62
• 页数: 6页
• 分类号: O484.22+1
• 字数: 3450字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-7086.2007.01.013

摘要

提出了一种膜厚修正挡板的设计方法,分析给出了使用挡板情况下基片膜厚和监控片膜厚的关系,对线性渐变滤光片镀制挡板进行了设计,给出了设计结果.用设计的挡板成功镀制了线性渐变滤光片,并给出了镀制结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马勉军	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	23	166	8.0	11.0
2	罗崇泰	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	31	224	9.0	13.0
3	秦洁玉	兰州物理研究所表面工程技术国家级重点实验室	1	7	1.0	1.0