差动电磁作动器的超大型光学仪器隔振基础的主动控制机理

• 作者: 刘彦 王雷 谭久彬
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 超大型光学仪器隔振基础 主动控制 差动电磁作动器
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1602-1608
• 页数: 7页
• 分类号: TH74|TH161.6|TP211.53
• 字数: 3095字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1004-924x.2007.10.024

摘要

提出了一种基于差动电磁作动器的超大型光学仪器隔振基础的主动控制机理.该控制机理采用差动布置方案,使电磁作动器变为输出力和控制电流呈线性关系的线性作动器,再利用小阻尼条件下,绝对速度反馈与Skyhook控制方法性能接近且易于工程实现的特点,采用了绝对速度反馈的控制方法,可在不改变中/高频隔振性能的前提下大幅提高谐振区隔振性能.实验结果表明:利用所提出的控制机理,在时域上,z、θx和θy三个自由度的速度(角速度)均方根值分别由10.06μm/s、4.16×10-6rad/s和4.65×10-6rad/s降至3.38μm/s、1.76×10-6rad/s和1.49×10-6rad/s;在频域上,三个自由度谐振区隔振性能均有约10 dB的提高.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭久彬	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	140	2284	28.0	42.0
2	王雷	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	36	230	8.0	14.0
3	刘彦	哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所	5	58	3.0	5.0