基于微梁谐振原理的相对湿度检测技术

• 作者: 傅星 房轩 李树民 李艳宁 胡小唐 郭彤
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微梁 谐振频率 相对湿度 微机电系统
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 85-88
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2592字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.02.002

摘要

提出了一种基于微梁谐振原理的相对湿度检测方法.建立了微梁谐振频率与环境相对湿度的函数关系,通过检测谐振频率可以测量环境相对湿度.利用压电微梁直接激励法进行实验,得出了30%～踟%湿度范围内微梁谐振频率与相对湿度的关系曲线.经实验验证,基于谐振原理的微梁湿度传感器有良好的精度和重复性,分辨率可达0.2%RH,精度优于±2.0%RH.微梁湿度传感器体积小、响应快、精度高,在微机电系统和微全分析系统中有广泛的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡小唐	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	205	1913	21.0	33.0
2	李艳宁	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	45	211	8.0	11.0
3	傅星	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	107	753	14.0	20.0
4	郭彤	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	46	370	11.0	17.0
5	房轩	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	28	3.0	5.0
6	李树民	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	2	4	1.0	2.0