小量程、高灵敏度微压力传感器的优化设计

• 作者: 刘本东 李德胜 种传波
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微压力传感器 小量程 高灵敏度 仿真
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 50-53,64
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2445字
• 语种: 中文

摘要

为了提高小量程微压力传感器的灵敏度,提出了一种新结构模型,通过理论分析,发现硅膜越薄,量程越小,灵敏度越高.并对此模型进行ANSYS应力仿真,发现在小量程负荷条件下,新结构模型应力峰值约为10.7 MPa,C 型硅杯应力峰值为2.25 MPa,E 型硅杯应力峰值为2.8 MPa,通过比较可以看出,优化后的模型提高了微型压力传感器的灵敏性,验证了此模型的合理性.这种优化设计方法对小量程、高灵敏度微型压力传感器的研制具有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李德胜	北京工业大学机电学院	78	461	14.0	16.0
2	刘本东	北京工业大学机电学院	12	80	4.0	8.0
3	种传波	北京工业大学机电学院	1	15	1.0	1.0