聚酰亚胺薄膜表面微纳米尺度下电荷特性的研究

• 作者: 任权 赵慧斌 韩立
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 聚酰亚胺 表面电荷 扫描探针显微镜 静电力显微镜
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 30-33
• 页数: 4页
• 分类号: TN04|TN05
• 字数: 2837字
• 语种: 中文

摘要

利用静电力显微镜(electrostatic force microscope,EFM)在微纳米尺度下对聚酰亚胺薄膜表面的电荷起因及特性进行研究.采用Dimension 3100型扫描探针显微镜的导电探针摩擦聚酰亚胺薄膜表面,在薄膜微纳米区域内产生电荷分布.通过静电力显微镜对微纳米区域产生的电荷进行表征,得出探针摩擦速度、探针电压对表面电荷的极性、密度、区域分布有很大的影响.同时也为微纳米尺度下探索聚合物绝缘材料表面电荷生成规律和机理提供了一个新的研究方法和途径.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩立	中国科学院电工研究所	98	376	9.0	13.0
2	赵慧斌	中国科学院电工研究所	12	353	8.0	12.0
6	任权	中国科学院电工研究所	3	8	2.0	2.0