新型pH-ISFET芯片系统研究

• 作者: 任振兴 夏善红 杨海钢 汪祖民 边超 韩泾鸿
• 来源期刊: 电子与信息学报
• 学科: 工学
• 关键词: 离子敏场效应管 片上系统 聚吡咯 五氧化二钽 敏感膜
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 2525-2528
• 页数: 4页
• 分类号: TP212
• 字数: 3189字
• 语种: 中文

摘要

该文研究设计一种新型ISFET/REFET/PRE传感器与信号检测电路集成于一体的芯片系统.采用商业标准CMOS工艺实现了基础集成芯片,探索研究与集成芯片兼容的敏感薄膜制备技术及其相关后续工艺,着重研究电聚合法制备的H+敏感PPy膜;与采用低温Ta2O5敏感薄膜技术研制的集成芯片进行了比较.集成芯片具有灵敏度54mV/pH,响应时间0.1s,在pH1～12范围内线性相关系数99.99%的优良性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
2	边超	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	39	136	7.0	10.0
3	杨海钢	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	134	485	10.0	15.0
4	汪祖民	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	3	13	3.0	3.0
8	任振兴	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	14	3.0	3.0