新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究

• 作者: 夏善红 孙红光 杨海钢 韩泾鸿 魏金宝
• 来源期刊: 电子学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微传感器 读取电路 单芯片 集成系统
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 224-227
• 页数: 4页
• 分类号: TN432|TP212.3
• 字数: 2396字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0372-2112.2007.02.008

摘要

生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩泾鸿	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	29	197	7.0	12.0
2	夏善红	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	111	654	14.0	18.0
3	杨海钢	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	134	485	10.0	15.0
4	孙红光	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	4	26	3.0	4.0
8	魏金宝	中国科学院电子学研究所传感技术国家重点实验室	5	21	3.0	4.0