利用金刚石线锯切割硅晶体的实验研究

• 作者: 侯志坚 张进生 李绍杰 葛培琪 高玉飞
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石锯丝 切割 硅晶体 粗糙度
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 试验与研究
• 页码范围: 14-16
• 页数: 3页
• 分类号: TG58
• 字数: 2404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-852X.2007.05.004

摘要

本文综述了脆性材料的塑性转变理论、脆性材料塑性加工研究进展情况,进行了环形金刚石线锯丝切割硅晶体的实验.锯丝单方向连续运动,因而可以提高切割速度,锯丝运动速度为10 m/s和21 m/s两种.工件进给速度分别为8.4 mm/min,12.6 mm/min和20 mm/min等三种.用扫描电镜检测切割表面并与往复式线锯切割表面进行比较.实验结果及理论分析表明:锯丝上单个磨粒切削深度极小,切割表面平整、无崩碎现象,表面粗糙度值达1.4 μm～3 μm,接近粗磨加工后的表面.进给速度增大,表面粗糙度有所增大;切削速度提高,表面粗糙度降低不明显,这与理论分析不一致,其原因是工艺系统振动、冲击所致.锯丝磨损、磨料脱落是降低切割表面质量的另一原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	葛培琪	山东大学机械工程学院	122	1523	21.0	33.0
2	侯志坚	山东大学机械工程学院	9	124	7.0	9.0
6	高玉飞	山东大学机械工程学院	27	232	9.0	14.0
7	张进生	山东大学机械工程学院	101	783	17.0	25.0
8	李绍杰	山东大学机械工程学院	7	129	6.0	7.0