适用于200 mm太阳能电池片的闭管扩散/氧化系统设计

• 作者: 盛金龙 钟华
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 闭管扩散 太阳能 设备
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 太阳能制造
• 页码范围: 51-54
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.4
• 字数: 3171字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.05.010

摘要

介绍了适用于太阳能电池生产线闭管磷扩散设备,着重阐述了该设备的结构组成、工艺原理及控制.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	盛金龙		6	18	3.0	4.0
2	钟华		3	8	2.0	2.0