基于电流控制的压电陶瓷驱动器

• 作者: 孙立宁 徐敏 荣伟彬 邹翾
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 压电陶瓷驱动器 压电陶瓷致动器 电流控制 纳米定位
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 38-43
• 页数: 6页
• 分类号: TP24
• 字数: 3183字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.01.009

摘要

为了解决电压控制型压电陶瓷驱动器驱动压电陶瓷时存在的迟滞、蠕变和带宽窄的问题,设计了基于电流控制的压电陶瓷驱动器,利用压电陶瓷致动器位移与其所带电荷量间的线性关系,该驱动器通过控制压电陶瓷的充电电流和时间控制其位移量.在此基础上,提出了以分辨率换取稳定性的动态保持控制方法,采用该电流型驱动器,实现了开环下对压电陶瓷致动器的稳定、快速、高精度定位.实验结果表明,该驱动器驱动行程为10 μm的压电陶瓷时,满行程带宽大于1.5 kHz,重复定位精度小于4 nm(0.4%).

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	荣伟彬	哈尔滨工业大学机器人研究所	98	1491	23.0	33.0
2	孙立宁	哈尔滨工业大学机器人研究所	379	7003	43.0	61.0
3	徐敏	哈尔滨工业大学机器人研究所	6	119	3.0	6.0
4	邹翾	哈尔滨工业大学机器人研究所	2	47	2.0	2.0