微机电系统发展动向

• 作者: 丛鹏 葛文勋
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 传感器 微加工
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微机电系统
• 页码范围: 182-189
• 页数: 8页
• 分类号: TN4
• 字数: 5029字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.03.006

摘要

微机电系统(MEMS)自1988年迄今,已从初期的探索、研究和创新阶段转向了生产与应用的成熟阶段,与此同时开辟了很多新领域.对于在今后5～10年中MEMS研究和发展的动向,专家们因其背景不同而看法各异,笔者选用现有实例来说明.从现在的趋势看,传统微机电系统的未来动向可以概括为4个方面.①把"传统"的、成型的MEMS元件或系统改进后,推向大规模应用,以支持持久的研究和开发;②传感器和微系统网络,当单一效能的系统在应用上建立后,可以开拓大型系统的应用;③新的材料,使用硅或半导体以外的许多材料制作特殊的微系统;④发展新的应用领域将是"非传统"的MEMS的主要动向,这些新的领域有生物研究和医药用仪器设备,微能源无线通讯和光通讯,环境保护和监测,以及纳米系统等.笔者根据一些从事MEMS教育和研究的人员的看法,对其发展动向作一简要报告,为MEMS计划工作者提供一些参考.