基于硅各向异性腐蚀的非球面微光学元件的制作

• 作者: 张新宇 李纪赛 陈胜斌
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 硅各向异性腐蚀 微光学元件 非球面
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 231-234
• 页数: 4页
• 分类号: TH74
• 字数: 1844字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.02.021

摘要

讨论了一种制作非球面微光学元件的新方法.此方法的关键步骤是将(100)硅在KOH∶H2O中的两步各向异性腐蚀.首先在硅衬底的掩模上开一组圆孔,圆孔的尺寸与最终的轮廓相对应.通过在硅衬底上腐蚀出一组凹球面状的微结构,一定的轮廓可以由一组这样的凹球面拼接而成.用这种方法可以简单高效地制作出很多用常规工艺难以加工的非球面、不规则的微光学元件.建立了描述此方法的模型,并进行了讨论分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张新宇	华中科技大学图像识别与智能系统研究所	16	69	4.0	8.0
2	陈胜斌	华中科技大学图像识别与智能系统研究所	3	9	2.0	3.0
3	李纪赛	华中科技大学图像识别与智能系统研究所	2	7	1.0	2.0