使用PEM监控制备光致亲水性TiO2薄膜的研究

• 作者: 巴德纯 段永利 范垂祯 许生 高文波
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 亲水性 PEM 反应溅射
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 413-417
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 3877字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.05.011

摘要

本文采用中频反应磁控溅射方法在玻璃表面制备了TiO2薄膜,为使反应溅射的工作点能够稳定在"过渡区",得到较高的薄膜沉积速率,使用了等离子体发射光谱监控法(Plasma Emission Monitor,PEM)对溅射过程进行控制.利用台阶仪测膜厚,用X射线衍射(XRD)和透射率光谱扫描等测试方法对薄膜的特性进行表征.对制得的薄膜进行了光照试验,研究了温度、PEM工作点等不同工艺条件对薄膜亲水性的影响.薄膜经过1 h左右的紫外光照射,得到了很好的亲水性效果,其表面的水接触角达到了小于1°的水平.将薄膜经过光照后再置于黑暗中一段时间,如此循环了5次,仍具有很好的光致亲水效果,证明此过程是可以循环重复的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	段永利	东北大学机械工程与自动化学院	6	29	3.0	5.0
3	许生		10	149	5.0	10.0
4	范垂祯		10	149	5.0	10.0
5	高文波		3	51	2.0	3.0