超声键合换能系统支承状态下导纳特性测量

• 作者: 广明安 韩雷
• 来源期刊: 电子工业专用设备
• 学科: 工学
• 关键词: 超声键合换能系统 等效电路 导纳 导纳圆
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 本期专题(封装工艺与设备)
• 页码范围: 26-31
• 页数: 6页
• 分类号: TN305.93
• 字数: 2983字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-4507.2007.12.005

摘要

分析了无负载情况下肋环夹持装置和劈刀两个主要因素对超声键合换能系统电学导纳特性的影响情况.分析了压电换能器的等效电路,通过压电换能器的导纳圆图,确定换能器各参数的变化情况.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	韩雷		78	614	14.0	20.0